Microscope acoustique à balayage standard (SAM)

Catégorie Microscope acoustique à balayage (SAM/SAT)

Le microscope à balayage ultrasonique standard est un système de contrôle non destructif polyvalent destiné à divers semi-conducteurs de puissance et composants d'encapsulation. Le chargement et le déchargement s'effectuent manuellement, tandis que le système réalise automatiquement le balayage par ultrasons et l'analyse d'images. La taille du réservoir d'eau et les dispositifs étanches peuvent être adaptés aux spécifications du produit de chaque client.

Champ d'application

Contrôle de la délamination des modules IGBT/SiC, contrôle de la délamination des boîtiers de puces semi-conductrices, contrôle des défauts de soudure des plaques de refroidissement à eau, mesure de l'épaisseur des diamants et détection des défauts internes

Avantages du produit

Contrôle non destructif complet : aucune destruction de l'échantillon, possibilité d'effectuer efficacement un nouveau contrôle, la pièce contrôlée reste utilisable
Large bande de fréquences de 1 à 500 MHz : basse fréquence pour une grande profondeur de pénétration et la détection de défauts profonds dans les modules IGBT ; haute fréquence pour une haute résolution et la détection de micropores dans les boîtiers de puces
Analyse de délamination multicouche : prend en charge jusqu'à 1 000 analyses de couches, adaptée aux structures d'emballage multicouches complexes
Options multi-têtes : configuration à une, deux ou quatre têtes ; les configurations à deux têtes gauche/droite doublent l'efficacité, tandis que la configuration à quatre têtes permet un débit élevé
Balayage synchrone C+T : un seul balayage fournit simultanément des images en mode réflexion (C-SAM) et en mode transmission (SAT)
Plateforme en granit à faibles vibrations, portique à moteur linéaire à double entraînement ; la précision et la vitesse de balayage sont supérieures à celles des systèmes classiques à guidage linéaire et vis sans fin

Caractéristiques techniques

Nom du paramètre	valeur spécifiée
Dimensions hors tout	1 070 mm × 950 mm × 1 500 mm
Zone de balayage effective	400 mm × 320 mm (dimensions personnalisables)
Vitesse de numérisation maximale	1 000 mm/s
Résolution d'image recommandée	1 à 4 000 μm/pixel
Bande passante d'émission/réception ultrasonique	1 à 500 MHz
Plateforme à trois axes	Plateforme en granit, moteurs linéaires sur les axes X et Y, double entraînement en portique
Configuration de la tête de test	Configuration simple, double ou à quatre têtes (en option)
Mode de numérisation	C-Scan, B-Scan, A-Scan ; prend en charge le balayage synchrone C+T
Système d'alimentation en eau et d'évacuation	Alimentation par pression d'eau, évacuation par gravité, évacuation par pompe en option
Dispositif d'étanchéité	Les dispositifs étanches peuvent être conçus sur mesure selon les spécifications du produit

Microscope acoustique à balayage semi-automatique (SAM)

Contrôle des boîtiers de semi-conducteurs pour les petites et moyennes séries présentant une grande diversité de variantes, validation des processus de R&D et contrôles par échantillonnage de la qualité de la production