Mikroskop akustyczny skanujący (SAM/SAT)

Scanning Acoustic Microscope (SAM/SAT) umożliwia wysokorozdzielczą, nieniszczącą kontrolę elementów konstrukcyjnych i struktur materiałowych za pomocą ultradźwięków o wysokiej częstotliwości. Niniejsza technika nadaje się szczególnie do badania półprzewodników, układów elektronicznych i pakietów elektronicznych, w których należy analizować wewnętrzne struktury i defekty bez demontażu.

Przez badanie ultradźwiękowe można między innymi wykryć delaminacje, wady, pęknięcia i inne zjawiska na granicach materiału i miejscach połączeń. Zapisywane sygnały ultradźwiękowe są przetwarzane cyfrowo i przedstawiane w formie obrazów o wysokiej rozdzielczości, co pozwala na celowe analizowanie położenia, wielkości i rozmieszczenia wewnętrznych defektów.

Zasada działania

Mikroskop akustyczny pracuje z wysokiej częstotliwością ultradźwięków i płynnym medium łączącym, zwykle wodą. Głowica badawcza wysyła impulsy ultradźwiękowe do elementu konstrukcyjnego i odbiera sygnały odbite przez granice i wady materiału.

Zapisywane sygnały są analizowane i przedstawiane w różnych formach wizualizacji:

A-Scan: Wykreślenie odbieranych sygnałów ultradźwiękowych w czasie trwania sygnału akustycznego

Skanowanie B-skanowania: Dwuwymiarowa reprezentacja wybranego obszaru skrawania

C-scan: Powierzchniowa reprezentacja zdefiniowanej płaszczyzny konstrukcyjnej

W zależności od zadania badawczego można zastosować różne metody skanowania i analizy wyników. Dzięki temu można bez uszkodzeń zlokalizować i analizować wewnętrzne struktury, powierzchnie styku i defekty.

Korzyści wynikające z badania SAM/SAT

Badania nieniszczące elementów i podzespołów

Obrazowanie struktur wewnętrznych w wysokiej rozdzielczości

Wykrywanie rozwarstwień i pustych przestrzeni

Analiza granic materiałów i miejsc połączeń

Kontrola bez demontażu elementu

Precyzyjna lokalizacja i analiza wad wewnętrznych

Nadaje się do badań, rozwoju, walidacji procesów i kontroli jakości

Typowe zastosowania

Półprzewodniki mocy

Moduły IGBT • Moduły mocy SiC • Moduły mocy • Podłoża DBC • Elementy mocy

Opakowania półprzewodników

Obudowy układów scalonych • Obudowy układów scalonych • Obudowy typu flip-chip • MEMS • Podłoża ceramiczne

Inne zastosowania

Badanie rozwarstwienia • Analiza pustych przestrzeni i porów • Badanie połączeń klejonych • Badanie wad spawalniczych •
Badanie płyt chłodzących chłodzonych wodą • Badanie wewnętrznych wad materiałowych • Pomiar grubości wybranych materiałów

Standardowy system SAM nadaje się do bezzarownych badań i szczegółowej analizy półprzewodników, układów elektronicznych i pakietów elektronicznych. Typowymi zastosowaniami są badania rozwarstwienia modułów IGBT i SiC, badanie pakietów półprzewodnikowych oraz analiza wewnętrznych defektów i miejsc połączeń.
Automatyczny system samouczulający jest przeznaczony do testowania różnorodnych serii małych i średnich maszyn oraz do zastosowań w procesie kontroli jakości produkcji. Automatyzowane procedury testowe umożliwiają reprodukowalne i wydajne badania określonych obszarów konstrukcyjnych.