- Prodotti
- Microscopio acustico a scansione standard (SAM)
Microscopio acustico a scansione standard (SAM)
Das Standard-Ultraschall-Scanning-Mikroskop ist eine universelle zerstörungsfreie Prüfanlage für verschiedene Leistungshalbleiter und Packaging-Bauteile. Die Be- und Entladung erfolgt manuell, während die Anlage Ultraschallscan und Bildanalyse automatisch durchführt. Wassertankgröße und wasserdichte Vorrichtungen können nach Produktspezifikation kundenspezifisch ausgelegt werden.
Ambito di applicazione
Prove di delaminazione su moduli IGBT/SiC, prove di delaminazione su pacchetti di chip semiconduttori, controllo dei difetti di saldatura su piastre di raffreddamento ad acqua, misurazione dello spessore dei diamanti e rilevamento dei difetti interni
Vantaggi del prodotto
- Zerstörungsfreie Vollprüfung: keine Probenzerstörung, effiziente Wiederholprüfung möglich, das Prüfteil bleibt weiter verwendbar
- Breites Frequenzband 1–500 MHz: niedrige Frequenz für große Eindringtiefe und tiefe Defekte in IGBT-Modulen; hohe Frequenz für hohe Auflösung und Mikroporen in Chip-Packages
- Mehrlagen-Delaminationsscan: unterstützt bis zu 1.000 Schichtscans, geeignet für komplexe mehrlagige Packaging-Strukturen
- Mehrkopfoptionen: Einzel-, Doppel- oder Vierkopfkonfiguration; links/rechts-Doppelköpfe verdoppeln die Effizienz, Vierkopfkonfiguration für hohen Durchsatz
- C+T-Synchronscan: ein Scan liefert gleichzeitig Bilder im Reflexionsmodus (C-SAM) und Transmissionsmodus (SAT)
- Schwingungsarme Granitplattform, Linear-Motor-Portal mit Doppelantrieb; Scanpräzision und Geschwindigkeit sind klassischen Linearführungs-/Spindelsystemen überlegen
Dati tecnici
| Denominazione del parametro | Valore specificato |
| Gesamtabmessungen | 1.070 mm × 950 mm × 1.500 mm |
| Effektiver Scanbereich | 400 mm × 320 mm (kundenspezifisch anpassbar) |
| Maximale Scangeschwindigkeit | 1.000 mm/s |
| Empfohlene Bildauflösung | 1 ～ 4.000 μm/pixel |
| Ultraschall-Sende-/Empfangsbandbreite | 1 ～ 500 MHz |
| Dreiachsplattform | Granitplattform, X-/Y-Achsen-Linearmotoren, Doppelantrieb im Portal |
| Prüfkopfkonfiguration | Einzel-, Doppel- oder Vierkopfkonfiguration (optional) |
| Scanmodus | C-Scan, B-Scan, A-Scan; unterstützt C+T-Synchronscan |
| Wasserzufuhr- und Ablaufsystem | Wasserdruck-Zulauf, Schwerkraftablauf, optionaler Pumpenablauf |
| Dichte Vorrichtung | Wasserdichte Vorrichtungen können nach Produktspezifikation kundenspezifisch ausgelegt werden |
Controllo del packaging dei semiconduttori per piccole e medie serie con numerose varianti, convalida dei processi di ricerca e sviluppo e controlli a campione della qualità di produzione
