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Microscopio acústico de barrido semiautomático (SAM)
El microscopio de barrido por ultrasonidos semiautomático amplía el modelo estándar con un mecanismo automático de entrada de agua por ambos lados. Conserva la flexibilidad de la carga y descarga manuales y, al mismo tiempo, reduce los pasos de manejo y la dependencia de los conocimientos especializados del personal operativo gracias a la inmersión y extracción automatizadas, el escaneo automático y el procesamiento automático de datos. Es adecuado para la validación en I+D y para los controles por muestreo en producción con diferentes tipos de muestras, y supone una ampliación de la automatización rentable en comparación con el sistema estándar fuera de línea.
Ámbito de aplicación
Control de encapsulado de semiconductores en series pequeñas y medianas con gran variedad de variantes, validación de procesos de I+D y control aleatorio de la calidad de la producción
Ventajas del producto
- Entrada automática de agua por ambos lados: los soportes de ambos lados pueden sumergirse automáticamente, ya sea de forma independiente o sincronizada; evita que se mojen las manos y mejora el manejo
- Diseño de inmersión en ángulo: el soporte se introduce en el depósito de agua en ángulo, lo que elimina eficazmente las burbujas de aire y evita interferencias en la imagen de escaneo.
- Diseño de doble cabezal/doble estación: se escanean dos soportes al mismo tiempo, lo que aumenta considerablemente la eficiencia de la inspección en comparación con una estación única.
- Soporte de cambio rápido: facilita el cambio rápido de diferentes piezas de trabajo y es adecuado para ensayos mixtos con gran variedad de variantes.
- Escaneos C/T opcionales: el escaneo C delantero y el escaneo T trasero pueden configurarse para la visualización sincrónica de imágenes; resultados en modo dual en un solo escaneo
- Mayor grado de automatización que el sistema offline estándar y menor inversión inicial que un sistema en línea totalmente automático; adecuado para requisitos de producción flexibles
Datos técnicos
| Denominación del parámetro | Valor de especificación |
| Dimensiones totales | 970 mm × 1 725 mm × 1 845 mm |
| Dimensiones del depósito de agua | 650 mm × 1.500 mm × 150 mm (personalizable según las necesidades del cliente) |
| Área de escaneo efectiva | aprox. 400 mm × 320 mm (total) |
| Velocidad máxima de escaneo | 2.000 mm/s |
| Aceleración del eje X | 2 G (ajustable de forma manual o automática) |
| Recorrido del eje Z | 0 ～ 100 mm |
| Configuración del cabezal de prueba | 1 o 2 sondas de C-Scan; compatible con sondas de 5 a 500 MHz |
Prueba de delaminación de módulos IGBT/SiC, prueba de delaminación de paquetes de chips semiconductores, prueba de defectos de soldadura en placas de refrigeración refrigeradas por agua, medición del espesor de diamantes y detección de defectos internos
