Microscope acoustique à balayage semi-automatique (SAM)

Catégorie Microscope acoustique à balayage (SAM/SAT)

Le microscope à balayage par ultrasons semi-automatique complète le modèle standard d'un mécanisme d'injection d'eau automatique des deux côtés. Il conserve la flexibilité du chargement et du déchargement manuels tout en réduisant les étapes d'utilisation et la dépendance vis-à-vis des compétences techniques du personnel opérateur grâce à l'immersion et à l'extraction automatisées, au balayage automatique et au traitement automatique des données. Il convient à la validation en R&D et aux contrôles par échantillonnage en production avec des types d’échantillons variables, et constitue une extension d’automatisation rentable par rapport au système hors ligne standard.

Champ d'application

Contrôle des boîtiers de semi-conducteurs pour les petites et moyennes séries présentant une grande diversité de variantes, validation des processus de R&D et contrôles par échantillonnage de la qualité de la production

Avantages du produit

Entrée d'eau automatique des deux côtés : les supports situés de chaque côté peuvent s'immerger automatiquement, de manière indépendante ou synchronisée ; cela évite d'avoir les mains mouillées et facilite l'utilisation
Conception à immersion oblique : le support pénètre en biais dans le réservoir d'eau, ce qui élimine efficacement les bulles d'air et évite toute perturbation de l'imagerie de numérisation
Conception à double tête/double station : deux supports sont scannés simultanément, ce qui augmente considérablement l'efficacité du contrôle par rapport à une station unique
Support à changement rapide : permet de changer rapidement de pièce et convient à des essais mixtes comportant de nombreuses variantes
Scans C/T optionnels : le scan C avant et le scan T arrière peuvent être configurés pour un affichage synchrone des images ; résultats en mode double dans un seul scan
Niveau d'automatisation supérieur à celui du système hors ligne standard et investissement initial inférieur à celui d'un système en ligne entièrement automatisé ; adapté aux besoins de production flexibles

Caractéristiques techniques

Nom du paramètre	valeur spécifiée
Dimensions hors tout	970 mm × 1 725 mm × 1 845 mm
Dimensions du réservoir d'eau	650 mm × 1 500 mm × 150 mm (adaptable selon les besoins du client)
Zone de balayage effective	env. 400 mm × 320 mm (total)
Vitesse de numérisation maximale	2 000 mm/s
Accélération de l'axe X	2 G (réglable manuellement ou automatiquement)
Course de l'axe Z	0 à 100 mm
Configuration de la tête de test	1 ou 2 sondes C-Scan, compatibles avec les sondes de 5 à 500 MHz

Microscope acoustique à balayage standard (SAM)

Contrôle de la délamination des modules IGBT/SiC, contrôle de la délamination des boîtiers de puces semi-conductrices, contrôle des défauts de soudure des plaques de refroidissement à eau, mesure de l'épaisseur des diamants et détection des défauts internes