Microscope acoustique à balayage (SAM/SAT)

Le Scanning Acoustic Microscope (SAM/SAT) utilise des ultrasons à très haute fréquence de 15 MHz pour inspecter rapidement et de manière non destructrice les structures internes, les défauts et les propriétés du matériau des composants (NDT). Le processus de contrôle comprend quatre étapes : 1. Le capteur d’ultrasons émet des ultrasons pulsés qui sont introduits dans le matériau par l’eau en tant que support de couplage. 2. Des échos réfléchis (C-SAM) et des signaux de transmission (SAT) se forment à des zones de contrainte matérielle. 3. Le capteur détecte les échos réfléchis et les convertit en signaux électriques (A-Scan). 4. L’ordinateur traite les signaux obtenus point par point à l’échelle X-Y et reconstruit des vues en deux dimensions (C-Scan) ainsi que des vues en coupe longitudinales (B-Scan), permettant ainsi de visualiser la position, la taille et la répartition des défauts internes.

Contrairement à la radiographie, l’ultrason est plus sensible aux défauts de faible densité tels que les pores et les délamination. Contrairement à la mesure optique, le procédé peut pénétrer dans les boîtiers et examiner les structures internes. C’est donc une solution de NDT de premier ordre pour les modules à semi-conducteurs de puissance, les boîtiers de puce et les plaques refroidies à l’eau.