Standardowy mikroskop akustyczny skanujący (SAM)

Standardowy mikroskop skanujący z ultradźwiękami to uniwersalne urządzenie do badań nieniszczących różnych półprzewodników mocy i elementów obudów. Załadunek i rozładunek odbywa się ręcznie, natomiast urządzenie automatycznie przeprowadza skanowanie ultradźwiękowe i analizę obrazu. Wielkość zbiornika na wodę oraz elementy wodoszczelne mogą być dostosowane do indywidualnych wymagań klienta zgodnie ze specyfikacją produktu.

Zakres stosowania

Badanie delaminacji modułów IGBT/SiC, badanie delaminacji obudów układów półprzewodnikowych, badanie wad spawalniczych płyt chłodzących wodą, pomiar grubości diamentu oraz wykrywanie wad wewnętrznych

Zalety produktu

  • Nieniszcząca kontrola całościowa: brak zniszczenia próbki, możliwość skutecznego powtórzenia kontroli, badany element nadaje się do dalszego użytku
  • Szerokie pasmo częstotliwości 1–500 MHz: niska częstotliwość zapewniająca dużą głębokość penetracji i wykrywanie głębokich wad w modułach IGBT; wysoka częstotliwość zapewniająca wysoką rozdzielczość i wykrywanie mikroporów w obudowach chipów
  • Skanowanie delaminacji wielowarstwowej: obsługuje do 1 000 skanów warstw, nadaje się do złożonych wielowarstwowych struktur opakowań
  • Opcje wielogłowicowe: konfiguracja jedno-, dwu- lub czterogłowicowa; głowice podwójne (lewa/prawa) podwajają wydajność, a konfiguracja czterogłowicowa zapewnia wysoką przepustowość
  • Skanowanie synchroniczne C+T: jeden skan dostarcza jednocześnie obrazy w trybie odbicia (C-SAM) i trybie przepuszczania (SAT)
  • Platforma granitowa o niskim poziomie drgań, portal z silnikiem liniowym i podwójnym napędem; precyzja skanowania i prędkość przewyższają klasyczne systemy prowadnic liniowych i wrzecion

Dane techniczne

Nazwa parametru Wartość specyfikacji
Wymiary całkowite 1 070 mm × 950 mm × 1 500 mm
Efektywny obszar skanowania 400 mm × 320 mm (możliwość dostosowania do potrzeb klienta)
Maksymalna prędkość skanowania 1 000 mm/s
Zalecana rozdzielczość obrazu 1 ~ 4 000 μm/piksel
Pasmo nadawczo-odbiorcze ultradźwięków 1 ~ 500 MHz
Platforma trójosiowa Platforma granitowa, silniki liniowe osi X/Y, podwójny napęd w konstrukcji portalowej
Konfiguracja głowicy pomiarowej Konfiguracja jedno-, dwu- lub czterogłowicowa (opcjonalnie)
Tryb skanowania Skanowanie typu C, skanowanie typu B, skanowanie typu A; obsługuje skanowanie synchroniczne C+T
System doprowadzania i odprowadzania wody Doprowadzenie ciśnieniowe, odpływ grawitacyjny, opcjonalny odpływ pompowy
Urządzenie do pomiaru gęstości Urządzenia wodoszczelne można dostosować do indywidualnych potrzeb klienta zgodnie ze specyfikacją produktu