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Microscopio acustico a scansione standard (SAM)
Il microscopio a scansione a ultrasuoni standard è un sistema di controllo non distruttivo universale per diversi semiconduttori di potenza e componenti di packaging. Il carico e lo scarico avvengono manualmente, mentre l’apparecchiatura esegue automaticamente la scansione a ultrasuoni e l’analisi delle immagini. Le dimensioni del serbatoio dell’acqua e i dispositivi a tenuta stagna possono essere progettati su misura in base alle specifiche del prodotto.
Ambito di applicazione
Prove di delaminazione su moduli IGBT/SiC, prove di delaminazione su pacchetti di chip semiconduttori, controllo dei difetti di saldatura su piastre di raffreddamento ad acqua, misurazione dello spessore dei diamanti e rilevamento dei difetti interni
Vantaggi del prodotto
- Controllo completo non distruttivo: nessuna distruzione del campione, possibilità di ripetere il controllo in modo efficiente, il pezzo sottoposto a controllo rimane utilizzabile
- Ampia banda di frequenza 1–500 MHz: bassa frequenza per una grande profondità di penetrazione e difetti profondi nei moduli IGBT; alta frequenza per un’elevata risoluzione e micropori nei chip package
- Scansione della delaminazione multistrato: supporta fino a 1.000 scansioni per strato, adatta a strutture di packaging multistrato complesse
- Opzioni multi-testa: configurazione a una, due o quattro teste; le configurazioni a doppia testa sinistra/destra raddoppiano l’efficienza, mentre la configurazione a quattro teste garantisce un’elevata produttività
- Scansione sincrona C+T: una singola scansione fornisce contemporaneamente immagini in modalità a riflessione (C-SAM) e in modalità a trasmissione (SAT)
- Piattaforma in granito a basse vibrazioni, portale con motore lineare a doppia azionamento; la precisione di scansione e la velocità sono superiori a quelle dei classici sistemi a guide lineari e mandrini
Dati tecnici
| Denominazione del parametro | Valore specificato |
| Dimensioni complessive | 1.070 mm × 950 mm × 1.500 mm |
| Area di scansione effettiva | 400 mm × 320 mm (personalizzabile in base alle esigenze del cliente) |
| Velocità massima di scansione | 1.000 mm/s |
| Risoluzione consigliata delle immagini | da 1 a 4.000 μm/pixel |
| Larghezza di banda di trasmissione/ricezione degli ultrasuoni | da 1 a 500 MHz |
| Piattaforma a tre assi | Piattaforma in granito, motori lineari sugli assi X/Y, doppio azionamento a portale |
| Configurazione della testina di prova | Configurazione singola, doppia o a quattro teste (opzionale) |
| Modalità di scansione | C-Scan, B-Scan, A-Scan; supporta la scansione sincrona C+T |
| Sistema di alimentazione idrica e di scarico | Alimentazione a pressione idraulica, scarico per gravità, scarico con pompa opzionale |
| Dispositivo a tenuta | I dispositivi impermeabili possono essere progettati su misura in base alle specifiche del prodotto |
Controllo del packaging dei semiconduttori per piccole e medie serie con numerose varianti, convalida dei processi di ricerca e sviluppo e controlli a campione della qualità di produzione
