Microscopio acustico a scansione (SAM/SAT)

Il Scanning Acoustic Microscope (SAM/SAT) consente la verifica ad alta risoluzione e senza distruzione di componenti e strutture di materiale tramite ultrasuoni ad alta frequenza. Il metodo è particolarmente adatto all’analisi di semiconduttori, componenti di potenza e pacchetti elettronici, dove è necessario analizzare strutture interne e difetti senza dover smontare i componenti.

Con la prova a ultrasuoni è possibile individuare, tra l’altro, delaminazioni, vuoti, crepe e altre anomalie alle superfici di contatto e alle giunzioni del materiale. I segnali ultrasonici acquisiti vengono elaborati digitalmente e rappresentati in immagini ad alta risoluzione, consentendo di analizzare specificamente la posizione, la dimensione e la distribuzione dei difetti interni.

Principio di funzionamento

Il Scanning Acoustic Microscope funziona con ultrasuoni ad alta frequenza e un mezzo di accoppiamento liquido, solitamente acqua. Il capo di prova invia impulsi ultrasonici nel componente e riceve i segnali riflessi dalle barriere e dai difetti del materiale.

I segnali acquisiti vengono analizzati e visualizzati in diverse rappresentazioni:

A-Scan: Presentazione dei segnali di ultrasuono ricevuti lungo la durata del segnale

Risonanza magnetica (B-scan): Presentazione bidimensionale di un intervallo di taglio selezionato

C-Scan: Modellazione superficiale di una specifica area di costruzione

A seconda della specifica richiesta di analisi, possono essere utilizzati diversi metodi di scansione e di analisi. Ciò consente di localizzare e analizzare in modo non distruttivo le strutture interne, le superfici di confine e i difetti.

Vantaggi della prova SAM/SAT

Zerstörungsfreie Prüfung von Bauteilen und Baugruppen

Hochauflösende Abbildung interner Strukturen

Erkennung von Delaminationen und Voids

Analyse von Materialgrenzen und Verbindungsstellen

Prüfung ohne Demontage des Bauteils

Präzise Lokalisierung und Analyse interner Defekte

Geeignet für Forschung, Entwicklung, Prozessvalidierung und Qualitätskontrolle

Applicazioni tipiche

Leistungshalbleiter

IGBT-Module • SiC-Leistungsmodule • Power Modules • DBC-Substrate • Leistungsbauelemente

Halbleiter-Packaging

Chip-Packages • IC Packages • Flip-Chip-Packages • MEMS • Keramische Substrate

Weitere Anwendungen

Delaminationsprüfung • Void- und Porenanalyse • Prüfung von Bondverbindungen • Schweißfehlerprüfung •
Prüfung wassergekühlter Kühlplatten • Untersuchung interner Materialfehler • Dickenmessung ausgewählter Materialien

Il standard SAM è adatto alla prova senza distruzione e all'analisi dettagliata di semiconduttori, elettronica di potenza e pacchetti elettronici. Le applicazioni tipiche includono la prova di delaminazione di IGBT e moduli SiC, l'analisi di pacchetti elettronici e l'analisi di difetti interni e punti di collegamento.
Il semi-automatico SAM è progettato per la verifica di serie piccole e medie di vario tipo e per l’utilizzo nella qualità di produzione. Le procedure di controllo automatizzate consentono l’analisi ripetibile ed efficiente di aree specifiche dei componenti.